|
|
标准编号：T/CASAS 054-2025
中文名称：氮化铝抛光片吸收系数测试方法
英文名称：
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期：2025-05-20
实施日期：2025-05-20
标准状态：现行
标准页数：13页
内容简介：本文件描述了氮化铝（AlN）抛光片光吸收系数的测试方法，包括原理、仪器设备、测试条件、样品、测试步骤、结果计算和测试报告。本文件适用于氮化铝抛光片的光学质量控制和评估。氮化铝外延片可参照使用。
T_CASAS 054-2025 氮化铝抛光片吸收系数测试方法.pdf
(743.48 KB)
标准文档截图：
 |
|
发表于 2025-7-3