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标准编号：T/CASAS 026-2023
中文名称：碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
英文名称：Test method for minority carrier lifetime in silicon carbide—microwave photoconductive decay
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期：2023-06-19
实施日期：2023-06-19
标准状态：现行
标准页数：9页
内容简介：本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。本文件适用于少数载流子寿命为20 ns～200 μs的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。
T_CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减.pdf
(722.45 KB)
标准文档截图：
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发表于 2023-7-4