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标准编号：T/CEMIA 023-2021
中文名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚
英文名称：Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
标准状态：现行
标准页数：12页
内容简介：本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。
T_CEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚.pdf
(3.34 MB)
标准文档截图：
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发表于 2022-6-1