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标准编号：T/CASAS 025-2023
中文名称：8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
英文名称：8-inch silicon carbide wafer reference marking and dimensions
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期：2023-06-19
实施日期：2023-06-19
标准状态：现行
标准页数：9页
内容简介：本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。
T_CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸.pdf
(464.53 KB)
标准文档截图：
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发表于 2023-7-4