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标准编号：T/CEMIA 015-2018
中文名称：光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范
英文名称：Technical specification for container cleaning of silicon tetrachloride for optical fiber preform
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-03-28
标准状态：现行
标准页数：5页
内容简介：本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。本标准适用于光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗，光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷等液体化工产品容器的清洗可参照使用。
T_CEMIA 015-2018 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范.pdf
(1.32 MB)
标准文档截图：
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发表于 2022-6-2