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标准编号:T/CEMIA 025-2021
中文名称:光伏电池片制程用石英管
英文名称:Quartz tubing for photovoltaic cell process
发布部门:中国电子材料行业协会
发布日期:2021-08-01
实施日期:2021-12-25
标准状态:现行
标准页数:11页
内容简介:本文件规定了光伏电池片制程用石英管的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存要求。本文件适用于以高纯石英砂(二氧化硅)为原料,采用连续电熔工艺生产石英母管,并将其直径扩大到300 mm~600 mm,用于光伏电池片扩散和化学气相沉积等制程用石英玻璃管。
T_CEMIA 025-2021 光伏电池片制程用石英管.pdf
(2.62 MB)
标准文档截图:
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