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标准编号：T/CEMIA 024-2021
中文名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
英文名称：Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
标准状态：现行
标准页数：9页
内容简介：本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。
T_CEMIA 024-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范.pdf
(2.52 MB)
标准文档截图：
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发表于 2022-6-1