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标准编号：T/NXCL 30-2024
中文名称：300 mm低氧含量直拉硅单晶
英文名称：300 mm low oxygen content single crystaline Czochralski silicon
发布部门：宁夏材料研究学会
发布日期：2024-02-06
实施日期：2024-02-06
标准状态：现行
标准页数：6页
内容简介：本文件规定了300 mm低氧含量直拉硅单晶的技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和质量承诺等方面的内容。本文件适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为300 mm 的低氧含量硅单晶。产品主要用于绝缘栅双极晶体管（IGBT）等功率器件的衬底。
T_NXCL 30-2024 300 mm低氧含量直拉硅单晶.pdf
(365.73 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-2-6