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标准编号:T/NXCL 015-2022
中文名称:硅部件用柱状多晶硅
英文名称:Columnar polysilicon for silicon parts
发布部门:宁夏材料研究学会
发布日期:2022-12-02
实施日期:2022-12-02
标准状态:现行
标准页数:6页
内容简介:本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、原料、化学成分、物理性能、晶粒形态和夹杂物。试验方法包括化学成分分析方法、物理性能检验方法以及晶粒形态和夹杂物的检测方法。检验规则包括检查和验收、组批、检验项目、仲裁取样和制样、检验结果的判定。
T_NXCL 015-2022 硅部件用柱状多晶硅.pdf
(254.91 KB)
标准文档截图:
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