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标准编号：T/NXCL 28-2024
中文名称：半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚
英文名称：Synthetic quartz crucible for semiconductor grade monocrystalline silicon growth
发布部门：宁夏材料研究学会
发布日期：2024-02-02
实施日期：2024-02-02
标准状态：现行
标准页数：8页
内容简介：本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂（成分：二氧化硅）为内层原料，采用电弧熔融法工艺生产，应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚。
T_NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚.pdf
(1.18 MB)
标准文档截图：
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发表于 2024-2-2