T/IAWBS 015-2021 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

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发表于 2021-9-17 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：T/IAWBS 015-2021
中文名称：氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称：Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2021-09-15
实施日期：2021-09-22

TIAWBS 015-2021.pdf (503.19 KB)

文档首页截图：

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

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