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标准编号：T/CPIA 0106-2025
中文名称：晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范
英文名称：
发布部门：中国光伏行业协会
发布日期：2025-03-15
实施日期：2025-03-30
标准状态：即将实施
标准页数：25页
内容简介：本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因素，规定了应采取的防护措施和设计要求。本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。
T_CPIA 0106-2025 晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范.pdf
(1.59 MB)
标准文档截图：
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发表于 2025-3-13