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标准编号：T/DLSHXH 008-2022
中文名称：电子特气 双（二乙基氨基）硅烷
英文名称：
发布部门：大连市石油和化工行业协会
发布日期：2022-09-30
实施日期：2022-10-20
标准状态：现行
标准页数：10页
内容简介：本标准规定了双（二乙基氨基）硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。本标准适用于以工业级双（二乙基氨基）硅烷为原料，经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双（二乙基氨基）硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体。
T_DLSHXH 008-2022 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷.pdf
(548.19 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-5-24