T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范

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发表于 2021-1-10 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：T/ICMTIA 1-2019
中文名称：集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
英文名称：The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2019-04-17
实施日期：2019-10-10

TICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范.pdf (1006.25 KB)

中关村集成电路材料产业技术创新联盟

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