T/ICMTIA SM006-2021 集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片

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发表于 2021-5-31 17:54:14 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：T/ICMTIA SM006-2021
中文名称：集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2021-05-31
实施日期：2021-07-30

TICMTIA SM006-2021.pdf (420.31 KB)

文档首页截图：

中关村集成电路材料产业技术创新联盟

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