|
|
标准编号：GB/T 15870-1995
中文名称：硬面光掩模用铬薄膜
英文名称：Chrome thin films for hard surface photomasks
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准状态：现行
标准页数：9页
内容简介：本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜(以下简称铬薄膜)。
GB_T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜.pdf
(327.61 KB)
标准文档截图：
 |
|
发表于 2016-12-26