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标准编号：GB/T 14015-1992
中文名称：硅-蓝宝石外延片
英文名称：Silicon on sapphire epitaxial wafers
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1992-12-28
实施日期：1993-08-01
标准状态：现行
标准页数：7页
内容简介：本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
GB_T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片.pdf
(604.31 KB)
标准文档截图：
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发表于 2016-12-26