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标准编号：T/CI 961-2025
中文名称：半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
英文名称：
发布部门：中国国际科技促进会
发布日期：2025-04-15
实施日期：2025-04-15
标准状态：现行
标准页数：10页
内容简介：本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。
T_CI 961-2025 半导体设备用碳化硅陶瓷零部件.pdf
(332.81 KB)
标准文档截图：
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发表于 2025-7-28