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标准编号：DB13/T 6137-2025
中文名称：高纯六氟化钨中杂质的检测
英文名称：
发布部门：河北省市场监督管理局
发布日期：2025-05-27
实施日期：2025-06-03
标准状态：现行
标准页数：9页
内容简介：本文件规定了电子工业用气体高纯六氟化钨中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。本文件适用于电子工业用气体高纯六氟化钨中氧+氩、氮气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅、氟化氢、金属元素含量的测定。
DB13_T 6137-2025 高纯六氟化钨中杂质的检测.pdf
(790.07 KB)
标准文档截图：
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发表于 2025-6-12