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标准编号：T/CCSAS 052-2025
中文名称：三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范
英文名称：
发布部门：中国化学品安全协会
发布日期：2025-03-03
实施日期：2025-03-03
标准状态：现行
标准页数：23页
内容简介：本文件界定了采用三氯氢硅(TCS)还原法生产多晶硅的术语和定义,规定了企业从设计到生产过程的安全技术基本要求,包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。采用其他工艺技术生产多晶硅的企业可参照执行。
T_CCSAS 052-2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范.pdf
(479.06 KB)
标准文档截图：
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发表于 2025-3-21