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标准编号：T/SDAMA 008-2025
中文名称：碳化硅陶瓷晶舟
英文名称：Silicon carbide ceramic wafer boat
发布部门：山东省新材料产业协会
发布日期：2025-03-17
实施日期：2025-03-17
标准状态：现行
标准页数：11页
内容简介：本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。本文件适用于应用于半导体集成电路（IC）制程，使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟。
T_SDAMA 008-2025 碳化硅陶瓷晶舟.pdf
(535.19 KB)
标准文档截图：
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发表于 2025-3-17