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标准编号:GB/Z 42624-2023
中文名称:真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序
英文名称:Vacuum technology—Vacuum gauges—Procedures to measure and report outgassing rates
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2023-05-23
实施日期:2023-05-23
标准状态:现行
标准页数:34页
内容简介:本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生,在23 ℃时小于1×10-5 Pa·m3·s-1(1×10-2 Pa·L·s-1),放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300 u。 总放气率的上限1×10-5 Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率(单位面积放气率)已测定,则该面积采用名义几何表面积,而非包括表面粗糙度的比表面积。当难以测定样品(如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等)的名义几何表面积时,采用单位质量放气率(如每克放气率)。
GB_Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序.pdf
(10.91 MB)
标准文档截图:
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