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标准编号：T/WHQASA 12-2024
中文名称：10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座
英文名称：lower heating susceptor products of 10.5G chemical vapor deposition equipment
发布部门：芜湖市质量与标准化协会
发布日期：2024-12-30
实施日期：2024-12-30
标准状态：现行
标准页数：7页
内容简介：本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付。
T_WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热.pdf
(357.97 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-12-31