|
|
标准编号：T/ZJCX 0049-2024
中文名称：碳化硅衬底激光剥离设备
英文名称：Laser slicing equipment for SiC substrate
发布部门：浙江省企业技术创新协会
发布日期：2024-12-24
实施日期：2024-12-25
标准状态：现行
标准页数：11页
内容简介：本文件规定了碳化硅衬底激光剥离设备的术语和定义、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅衬底激光剥离设备的生产和检验。
T_ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备.pdf
(321.81 KB)
标准文档截图：
 |
|
发表于 2024-12-26