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标准编号：T/STIC 110096-2024
中文名称：半导体用多级罗茨干式真空泵
英文名称：Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor
发布部门：上海市检验检测认证协会
发布日期：2024-01-01
实施日期：2024-01-01
标准状态：现行
标准页数：10页
内容简介：本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。
T_STIC 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵.pdf
(477.39 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-12-12