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标准编号：T/CAS 304-2018
中文名称：磁控溅射硅靶材及绑定靶材
英文名称：Magnetron sputtering silicon targets and bound targets
发布部门：中国标准化协会
发布日期：2018-05-29
实施日期：2018-05-29
标准状态：现行
标准页数：13页
内容简介：本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。
T_CAS 304-2018 磁控溅射硅靶材及绑定靶材.pdf
(4.59 MB)
标准文档截图：
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发表于 2024-5-17