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标准编号：T/CI 334-2024
中文名称：半导体设备隔振系统设计及技术要求
英文名称：Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments
发布部门：中国国际科技促进会
发布日期：2024-04-18
实施日期：2024-04-18
标准状态：现行
标准页数：9页
内容简介：本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。 本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。 本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。
T_CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求.pdf
(405.41 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-4-23