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标准编号：T/CPIA 0065-2024
中文名称：异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备
英文名称：
发布部门：中国光伏行业协会
发布日期：2024-03-10
实施日期：2024-03-15
标准状态：现行
标准页数：15页
内容简介：本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。
T_CPIA 0065-2024 异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（.pdf
(315.38 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-4-15