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标准编号：T/ZSA 224-2024
中文名称：半导体设备前端模块
英文名称：Equipment front end module
发布部门：中关村标准化协会
发布日期：2024-04-12
实施日期：2024-04-13
标准状态：即将实施
标准页数：14页
内容简介：本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于100 mm、125 mm、150 mm、200 mm、300 mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行。
T_ZSA 224-2024 半导体设备前端模块.pdf
(1.24 MB)
标准文档截图：
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发表于 2024-4-12