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标准编号：T/QGCML 3970-2024
中文名称：半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
英文名称：
发布部门：全国城市工业品贸易中心联合会
发布日期：2024-03-27
实施日期：2024-04-11
标准状态：即将实施
标准页数：11页
内容简介：本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。
T_QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统.pdf
(439.07 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-3-27