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标准编号：T/ZS 0344-2022
中文名称：数字化无掩模激光直写光刻机
英文名称：Digital maskless laser direct imaging lithography machine
发布部门：浙江省产品与工程标准化协会
发布日期：2022-11-10
实施日期：2022-11-17
标准状态：现行
标准页数：14页
内容简介：前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 产品分类 5 工作环境 6 要求 6.1 外观、尺寸和重量 6.2 主要性能 6.3 安全要求 6.4 噪声 7 试验方法 7.1 试验条件 7.2 外观检查及尺寸、重量测量 7.3 性能试验 7.4 安全检查 7.5 噪声试验 8 检验规则 8.1 检验分类 8.2 出厂检验 8.3 型式检验 8.4 判定规则 9 标志、包装、运输、贮存 9.1 标志 9.2 包装 9.3 运输 9.4 贮存
T_ZS 0344-2022 数字化无掩模激光直写光刻机.pdf
(1.31 MB)
标准文档截图：
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发表于 2023-8-23