|
|
标准编号：T/CCGA 30007-2022
中文名称：电子级三氟化氯
英文名称：Electronic chlorine trifluoride
发布部门：中国工业气体工业协会
发布日期：2022-12-28
实施日期：2023-03-01
标准状态：现行
标准页数：10页
内容简介：本标准规定了电子级三氟化氯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、储运及安全信息的要求。本标准适用于以氟气和氯气为原料制备的三氟化氯产品，该产品主要用于半导体等领域。
T_CCGA 30007-2022 电子级三氟化氯.pdf
(1.52 MB)
标准文档截图：
 |
|
发表于 2023-4-6