T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法光谱反射法

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发表于 2022-12-31 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：T/ZOIA 30001-2022
中文名称：MEMS高深宽比结构深度测量方法光谱反射法
英文名称：
发布部门：中关村光电产业协会
发布日期：2022-12-29
实施日期：2022-12-29
标准状态：现行
标准页数：9页
内容简介：本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。

T_ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法光.pdf (610.53 KB)

标准文档截图：

中关村光电产业协会

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