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标准编号：YS/T 28-2015
中文名称：硅片包装
英文名称：Package of silicon wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
替代标准：YS/T 28-1992
标准页数：7页
内容简介：本标准规定了硅片的包装。本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
YS_T 28-2015 硅片包装.pdf
(2.05 MB)
标准文档截图：
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发表于 2022-3-5