标准编号:GB/T 38614-2020
中文名称:基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
英文名称:Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期:2020-04-28
实施日期:2020-11-01
标准状态:现行
标准页数:15页
内容简介:本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。 GB_T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定.pdf(3.41 MB)