GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

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标准编号：GB/T 19921-2018
中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文名称：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-07-01
标准状态：现行
替代标准：GB/T 19921-2005
标准页数：29页
内容简介：本标准规定了应用扫描表面检查系统对抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体进行测试，对局部光散射体与延伸光散射体、散射光与反射光进行区分、识别和测试的方法。针对130 nm～11 nm线宽工艺用硅片，本标准提供了扫描表面检查系统的设置。本标准适用于使用扫描表面检查系统对硅抛光片和外延片的表面局部光散射体进行检测、计数及分类，也适用于对硅抛光片和外延片表面的划伤、晶体原生凹坑进行检测、计数及分类，对硅抛光片和外延片表面的桔皮、波纹、雾以及外延片的棱锥、乳突等缺陷进行观测和识别。本标准同样适用于锗抛光片、化合物抛光片等镜面晶片表面局部光散射体的测试。注：本标准中将硅、锗、砷化镓材料的抛光片和外延片及其他材料的镜面抛光片、外延片等统称为晶片。
GB_T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法.pdf (10 MB)

2021-11-5 08:26:25 上传

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