GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

ericnumber

标准编号：GB/T 1557-2018
中文名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
英文名称：Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
标准状态：现行
替代标准：GB/T 1557-2006
标准页数：10页
内容简介：本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时，氧含量（原子数）测试范围从1×10ˇ16 cmˇ－3到硅中间隙氧的最大固溶度；以低温红外设备测试时，氧含量(原子数)的测试范围从0.5×10ˇ15 cmˇ-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
GB_T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法.pdf (2.8 MB)

2021-10-30 20:59:12 上传

点击文件名下载附件

标准文档截图：