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标准编号:GB/T 35158-2017
中文名称:俄歇电子能谱仪检定方法
英文名称:Verification method for Auger electron spectrometers
发布部门:国家质检总局 国家标准委
发布日期:2017-12-29
实施日期:2018-11-01
标准状态:现行
标准页数:60页
内容简介:本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。本标准适用于激发源为电子束,且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
GB_T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法.pdf
(23.91 MB)
标准文档截图:
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