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标准编号：GB/T 33826-2017
中文名称：玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
英文名称：Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method
发布部门：国家质检总局 国家标准委
发布日期：2017-05-31
实施日期：2017-12-01
标准状态：现行
标准页数：14页
内容简介：本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
GB_T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪.pdf
(3.07 MB)
标准文档截图：
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发表于 2021-9-17