标准编号：GB/T 32189-2015
中文名称：氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
英文名称：Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
标准状态：现行
标准页数：11页
内容简介：本标准规定了用原子力显微镜测试氮化镓单晶衬底表面粗糙度的方法。本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的表面粗糙度小于10 nm的氮化镓单晶衬底。其他具有相似表面结构的半导体单晶衬底应用本标准提供的方法进行测试前，需经测试双方协商达成一致。 GB_T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检.pdf(3.81 MB)
发表于 2021-8-18 10:57:36
