标准编号:GB/T 32188-2015
中文名称:氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称:Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期:2015-12-10
实施日期:2016-11-01
标准状态:现行
标准页数:8页
内容简介:本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。 GB_T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽.pdf(1.71 MB)