GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷

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标准编号：GB/T 31987-2015
中文名称：电子工业用气体 锗烷
英文名称：Gas for electronic industry—Germane
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2015-09-11
实施日期：2016-05-01
标准状态：现行
标准页数：7页
内容简介：本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。分子式：GeH4。相对分子质量：76.662（按2011年国际相对原子质量计算）。
GB_T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷.pdf (1.58 MB)

2021-8-11 上传

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