|
|
标准编号：GB/T 30656-2014
中文名称：碳化硅单晶抛光片
英文名称：Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
标准状态：现行
标准页数：14页
内容简介：本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。
GB_T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片.pdf
(3.09 MB)
标准文档截图：
 |
|
发表于 2021-8-2