GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢

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标准编号：GB/T 14602-2014
中文名称：电子工业用气体 氯化氢
英文名称：Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
标准状态：现行
替代标准：GB/T 14602-1993,GB/T 24469-2009
标准页数：9页
内容简介：本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。
GB_T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢.pdf (2.2 MB)

2021-7-31 上传

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