标准编号:GB/T 31227-2014
中文名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文名称:Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期:2014-09-30
实施日期:2015-04-15
标准状态:现行
标准页数:10页
内容简介:本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。 GB_T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法.pdf(2.36 MB)