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标准编号：T/IAWBS 011-2019
中文名称：导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法
英文名称：Test methods for measuring resistivity of conductive silicon carbide wafers with a noncontact eddy-current gauge
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2019-12-27
实施日期：2019-12-31
TIAWBS 011-2019.pdf
(451.64 KB)
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发表于 2020-8-21