标准编号:T/CASAS 010-2019
中文名称:氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
英文名称:Determination of Trace Impurities Concentration and Distribution in GaN Materials by Secondary Ion Mass Spectrometry
发布部门:北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期:2019-11-25
实施日期:2019-11-25 TCASAS 010-2019.pdf(1.4 MB)