标准编号:DB31/ 792-2020
中文名称:硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额
英文名称:The norm of energy consumption per unit products for monocrystalline silicon and silicon wafer
发布部门:上海市市场监督管理局
发布日期:2020-03-05
实施日期:2020-06-01
标准状态:现行
替代标准:DB31/ 792-2014
标准页数:8页
内容简介:本标准规定了硅单晶及硅单晶片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降耗导向。本标准适用于半导体级硅单晶和硅单晶片,包括研磨片、抛光片、外延片(以下统称“硅片”)生产企业产品能源单耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。 DB31_ 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额.pdf(2.25 MB)