|
|
标准编号:GB/T 34178-2017
中文名称:光掩模石英玻璃基板
英文名称:Silica glass substrates for photomask
发布部门:国家质检总局 国家标准委
发布日期:2017-09-07
实施日期:2018-08-01
标准状态:现行
标准页数:12页
内容简介:本标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
GB_T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板.pdf (2.46 MB) |
|