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标准编号：GB 50809-2012
中文名称：硅集成电路芯片工厂设计规范
英文名称：Code for design of silicon integrated circuits wafer fab
发布部门：中华人民共和国住房和城乡建设部
发布日期：2012-10-11
实施日期：2012-12-01
标准状态：现行
标准页数：95页
内容简介：本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。
GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范.pdf
(6.07 MB)
标准文档截图：
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发表于 2016-12-26